Etapa piezoeléctrica para aplicaciones de enfoque automático y enfoque rápido

Jan 05, 2024

La línea de posicionadores de lentes de PI, diseñada para escanear y posicionar objetivos con resolución sub-nm a un ancho de banda alto, se está expandiendo con una nueva generación de etapas piezoeléctricas de enfoque Z: la familia de productos de etapa de flexión piezoeléctrica P-725 PIFOC. Disponible en 3 rangos de viaje de 100 µm, 400 µm y 800 µm líder en la industria, se logra un enfoque rápido de alto rendimiento con precisión nanométrica para aplicaciones como microscopía de súper resolución, metrología de obleas y procesamiento de materiales con láser. Además de proporcionar un mayor rendimiento, las etapas P-725 de próxima generación también son más fáciles de instalar, más compactas y permiten múltiples unidades en una torreta de microscopio.

Equipado con sensores de medición directa para la máxima linealidad y estabilidad, el accionamiento piezoeléctrico sin fricción garantiza una respuesta rápida, una gran rigidez y un tiempo de estabilización rápido de unos pocos milisegundos. El sistema de guía de flexión sin juego optimizado por computadora mejora la repetibilidad y la estabilidad del enfoque.

Etapas de enfoque guiadas por flexión piezoeléctrica frente a bobina de voz: etapas de enfoque guiadas por rodillos cruzados

PI proporciona ambas soluciones, abordan requisitos similares y, a veces, diferentes. Las etapas de enfoque guiadas por flexión piezoeléctrica son más compactas, proporcionan una mejor rectitud, planitud y errores angulares reducidos, comúnmente conocidos como precisión de guía. Las guías de flexión también están libres de fricción y desgaste. Sin embargo, los rangos de movimiento son limitados. Para rangos de recorrido más largos, las etapas accionadas por bobina de voz con cojinetes de rodillos cruzados son una opción, como la etapa de enfoque V-308 de PI con 7 mm de recorrido vertical y un contrapeso ajustable por el usuario. Otra opción para recorridos más largos, con un sistema de guía sin fricción, sin desgaste y de alta precisión, es la corredera de cojinete de aire impulsada por un motor de bobina de voz pequeña A-142 recientemente presentada.

Controlador digital con Fast Focus y Freeze y escaneos automatizados

Junto con las etapas de enfoque, el nuevo servocontrolador / controlador piezoeléctrico digital compacto E-709 fue diseñado para proporcionar una frecuencia de muestreo de 20 kHz, el doble de potencia que su predecesor junto con varias veces la resolución. Características avanzadas, como la linealización de cuarto orden para mejorar la calidad de imagen, el seguimiento de alta velocidad y la exclusiva capacidad Fast Focus & Freeze de PI, en la que la unidad se puede cambiar sin problemas de un sensor externo (de enfoque) al sensor de posición integrado en la etapa de enfoque, lo que permite una precisión Movimientos calibrados y estables con respecto al plano focal. Se incluye un paquete de software integral: controladores para LabVIEW, bibliotecas dinámicas para Windows y Linux, MATLAB, MetaMorph, µManager, etc. Las interfaces incluyen USB, SPI, RS-232 y analógica. Las funciones admitidas incluyen generador de ondas, registrador de datos, cero automático y E/S de activación.

Para más información: www.physikinstrumente.com

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