Comparando XY

Apr 02, 2023

Estos sistemas pueden configurarse y suministrarse como componentes individuales o como sistemas de movimiento integrados completos con interfaces personalizadas, soluciones de administración de cables, pasamuros de vacío y estructuras integradas de granito y aluminio optimizadas para la aplicación.

Artículo de | Pi

Las etapas XY-Theta de 3 ejes de alta precisión (conjuntos XYT) son fundamentales en muchos procesos de prueba y producción relacionados con el mecanizado de precisión láser, la prueba y producción de semiconductores y fotónica, y la fabricación de dispositivos médicos. PI ofrece un conjunto de soluciones amplio y profundo para sistemas de movimiento XY-Theta integrados con controladores de movimiento industriales. Estos sistemas pueden configurarse y suministrarse como componentes individuales o como sistemas de movimiento integrados completos con interfaces personalizadas, soluciones de administración de cables, pasamuros de vacío y estructuras integradas de granito y aluminio optimizadas para la aplicación.

Un montaje de escenario XY-Theta basado en granito de ultra alto rendimiento basado en un escenario XY plano A-322 con cojinetes de aire y una mesa giratoria con cojinetes de aire.

Ensamblaje de platina XY-theta de bajo perfil, compacto y basado en cojinetes de aire. Vea la etapa con cojinetes de aire A-311 XY en movimiento

Los equipos de ingeniería de PI tienen amplios conocimientos y experiencia en tecnología de cojinetes de aire y sistemas de escenarios de movimiento multieje. El rendimiento de ultraprecisión de los sistemas de posicionamiento de cojinetes de aire diseñados junto con su naturaleza sin desgaste los convierte en soluciones ideales para aplicaciones de semiconductores que involucran movimiento lineal y rotacional combinado.

Etapa XY-Theta personalizada basada en la etapa de cojinete de aire XY de largo recorrido A-311 y la etapa giratoria A-621 para rotación Theta-Z de 360°

En la imagen de arriba, una mesa de movimiento plana XY con cojinetes de aire A-311 personalizada y de perfil bajo se combina con una etapa de rotación de cojinetes de aire de la serie A-621 de alta precisión en un conjunto XYT de precisión.

Video: Platina de rodamientos de aire XY-Theta basada en platinas planas XY de bajo perfil (modelo A-311) y platina Theta-Z de rodamientos de aire de accionamiento directo (modelo A-623). Esta platina compacta de 3 ejes es ideal para aplicaciones de metrología, prueba y láser de alto rendimiento.

Cuando se requieren más grados de libertad, las etapas XY se pueden combinar con un módulo de movimiento Z-Tip-Tilt (ZTT) de bajo perfil para formar sistemas de 5 ejes, como la etapa de oblea de 5 DOF para aplicaciones de metrología de semiconductores, que se muestra en el vídeo de abajo. El módulo ZTT también se puede agregar a etapas XY-Theta para aplicaciones de movimiento 6DOF.

Video: platina de metrología de obleas de 5 ejes con cojinetes de aire

Los conjuntos de platina de 3 ejes PI XY-Theta utilizan componentes de control de movimiento industrial ACS. Los controladores PI basados ​​en ACS utilizan configuraciones optimizadas para obtener el mejor rendimiento de las aplicaciones. Esto incluye sistemas preconfigurados con información optimizada de los parámetros del sistema listos para la operación inmediata, incluida la activación del dispositivo sincronizado por movimiento a través del hardware del módulo de control láser (LCM)/interfaz de control láser (LCI), así como características de seguridad funcional como Safe Torque. Apagado.

El módulo de control láser ACS

La función Safe Torque Off (STO) con certificación PL e / SIL 3 proporciona a los fabricantes de máquinas una forma sencilla y rentable de implementar la seguridad de las máquinas. STO está disponible en controladores de movimiento PI seleccionados.

En muchas aplicaciones, la compacidad es fundamental para la integración de herramientas. La etapa lineal de bajo perfil V-508 / etapa rotativa de bajo perfil V-610, sistema de movimiento multieje de transmisión directa, es un ejemplo de un ensamblaje de 3 ejes liviano y de alto rendimiento que es de perfil extremadamente bajo, muy compacto y también es tecnológicamente flexible para abordar de manera óptima tanto el paso rápido y el establecimiento como las aplicaciones de escaneo coordinadas sin problemas con tolerancias de error que van desde nanómetros hasta micras.

Conjunto de platina XY-Theta con apertura transparente para el paso de la luz, que proporciona un recorrido de 25 x 80 mm. El conjunto consta de dos etapas de traslación lineal compacta V-508 y una etapa rotativa de transmisión directa V-610.

Las aplicaciones de automatización industrial de alto rendimiento de movimiento de precisión suelen implicar movimientos repetitivos con mayores cargas y aceleraciones. Aquí, el conjunto de etapa de automatización de precisión de la serie V-817 con una mesa giratoria de transmisión directa, que se muestra arriba, proporciona una alta aceleración y un movimiento de alto ciclo de trabajo con motores lineales trifásicos eficientes y motores de torque que ofrecen una alta fuerza continua y máxima. La construcción y el diseño rígidos del escenario que utilizan aleaciones de aluminio de calidad aeronáutica proporcionan rigidez para manejar un alto impulso durante períodos cortos de tiempo con la precisión adecuada. Los rodamientos de precisión para camiones y rieles se implementan tanto para características de carga como para una vida útil prolongada. La platina giratoria integrada de transmisión directa de alta velocidad con alto par de salida se utiliza para un rendimiento dinámico de escaneo y asentamiento por pasos.

Los sistemas de automatización PI XY-Theta se escalan de forma específica para la aplicación utilizando criterios de recorrido, rendimiento, carga y espacio. Las soluciones que se muestran aquí son una pequeña muestra representativa de las opciones disponibles para abordar el movimiento XYT y muestran la diversa gama de elementos de motor, cojinete, codificador y diseño que han contribuido a hacer de PI el líder del mercado en movimiento de precisión.

Ensamblaje de etapa de automatización XY-Theta de 3 ejes de accionamiento directo de alta velocidad y alta carga. Más información sobre la familia de platinas de traslación lineal V-817 y sus controladores de movimiento

Conjunto de escenario XYT basado en V-508/V-610 de bajo perfil. El rendimiento de escaneo de una etapa V-508 XY se muestra en un video aquí.

Las soluciones de etapa XY-Theta que se muestran en este artículo representan una gama diversa de tecnologías patentadas desarrolladas internamente en PI, incluidos motores, codificadores, rodamientos, así como materiales y diseño. PI es un líder mundial en control de movimiento de precisión multieje, pionero en etapas lineales de alta precisión, etapas giratorias y etapas multieje para numerosas aplicaciones de alta tecnología. Hemos estado mejorando continuamente nuestros sistemas de movimiento multieje XY-Theta de alta precisión y hemos ayudado a muchos clientes en la fabricación de semiconductores, el procesamiento de materiales láser y la fabricación de dispositivos médicos a lograr un mayor rendimiento y calidad.

PI es una empresa privada que diseña y fabrica sistemas de automatización y movimiento de precisión de clase mundial, incluidos cojinetes de aire, hexápodos y unidades piezoeléctricas en ubicaciones de América del Norte, Europa y Asia. La empresa fue fundada hace 5 décadas y hoy emplea a más de 1300 personas en todo el mundo. Los clientes de PI son líderes en industrias de alta tecnología e institutos de investigación en campos como la fotónica, las ciencias de la vida, los semiconductores y la industria aeroespacial.

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